集成電容式壓力傳感器 - 北京協同創新研究院
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集成電容式壓力傳感器

       目前國內壓力傳感器公司僅可提供中低端MEMS傳感器產品,且主要以進口壓力芯片和專用集成電路散件組裝為主,少部分具有半導體加工能力公司以自產壓力芯片替換國外進口芯片,但是專用集成電路部分還是以國外產品為主。目前僅智能手機市場中國每年5億部手機所用壓力傳感器基本上均為進口品牌,造成生產成本居高不下和外匯的大量流失,而智能手機市場僅約占壓力傳感器市場的20%左右。

       本項目采用表面微機械工藝,具有低功耗、高精度、低漂移等特點。本項目突破低功耗、高精度電容傳感器,24位AD高分辨率和MEMS-IC工藝兼容等關鍵技術。

       集成電容式壓力傳感器是3C信息系統的核心部件,目前國內沒有其他類似的系統產品,國外也沒有成熟的產品,項目的研發將填補國內外的空白。項目產品可廣泛應用于手機、平板、運動手表、手環等可穿戴設備、智能終端產品,及汽車、醫療、保健、無人機等。

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