單片集成MEMS環境壓力傳感器 - 北京協同創新研究院
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單片集成MEMS環境壓力傳感器

       環境壓力與多種影響日常生活的指標,例如高度、天氣、水深等有著直接的關系,因此,通過壓力測量,可以有效指導人們獲得更好的生活狀態。隨著智能數字設備的普及,手機、戶外手表、運動手環等開始大量裝備壓力傳感器,以便隨時隨地獲取周邊環境參數。

       集成MEMS壓力傳感器是在單晶硅上,采用集成電路工藝平臺制作的,具有24位數字變換的單片集成壓力傳感器(內置溫度傳感器),具有大批量、低成本、小體積、微功耗、高精度等特點,非常符合可穿戴產品的要求。產品的壓力輸入范圍為30kPa ~120kPa,工作溫度-40℃~85℃,I2C或SPI接口,壓力分辨率10Pa,溫度分辨率0.1℃,外形尺寸3mmx3mmx1mm。

       本項目產品采用塑封專用工藝,實現低成本小尺寸封裝。為了實現產品目標,突破了高精度低漂移變換電路設計、低噪聲壓力傳感器芯片設計和單片集成制作工藝、溫度補償算法等技術問題。在智能終端的支持下,產品可以應用在GPS三維導航、室內導航(樓層檢測、電梯監測),室外導航、天氣預報、醫療監護、升降速率測量、水位計等領域,手機、戶外手表、平板電腦、運動手環、醫療儀器、洗衣機廠商等領域。

       本項目已經完成了技術開發,成立了產業化公司。

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