基于Parylene MEMS高精度柔性觸力傳感系統 - 北京協同創新研究院
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基于Parylene MEMS高精度柔性觸力傳感系統

       現有機器人(尤其是手術機器人)急需一種高空間分辨率的柔性觸力傳感系統來解決機器人在力反饋系統方面的功能不足(如手術機器人希望能通過觸力反饋精確定位腫瘤位置)。

       本項目將開展基于Parylene的柔性電子微納加工、集成封裝方法研究,開發基于Parylene MEMS的柔性觸力傳感陣列技術。本項目通過突破柔性化硅結構的設計、加工、混合集成方法,多物理量傳感陣列的設計與制備等關鍵問題,建立柔性三維微納結構制備新方法,實現硅基壓阻式觸力傳感陣列。本項目以硅基器件單元實現傳感功能,以Parylene微結構實現柔性化,建立一種新型的高性能柔性電子實現方案,研發出高性能柔性觸力傳感陣列系統,為手術機器人功能提升與柔性電子發展提供重要的技術支撐。

       除了醫療健康領域,柔性觸力傳感系統可應用的領域還包括運動行業、可穿戴機械設備、人造皮膚等等。如將柔性壓力傳感器內置在鞋子中,可以實時檢測體重、發力姿勢、身體平衡性等;可穿戴設備中的柔性傳感器可以感知人的動作和用力情況,協助佩戴者提起重物、快速走動等;集成了柔性觸力傳感器的人造皮膚,可以用于義肢上,感知佩戴者的動作意圖并協助其完成想要的動作。

典型 Parylene 柔性微電極陣列器件

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